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氯化氫 改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法
改良西門子法是(shi)用氯和氫合成氯化(hua)氫（或外購(gou)氯化氫），氯化氫和(he)產(chan)業(ye)硅(gui)(gui)粉在一定的溫(wen)度(du)下合成三(san)氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)(gui)，然后對三(san)氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)(gui)進(jin)行(xing)(xing)分離精餾提純(chun)(chun)，提純(chun)(chun)后的三(san)氯(lv)(lv)氫(qing)硅(gui)(gui)在氫(qing)還原爐(lu)內進(jin)行(xing)(xing)CVD反(fan)應生產(chan)高純(chun)(chun)多晶硅(gui)(gui)。
國(guo)內外現(xian)有的多(duo)晶硅(gui)廠盡大部(bu)分采用此法生產電子(zi)級與太陽(yang)能級多(duo)晶硅(gui)。
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