鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在七(qi)十年代末期(qi)發展出來的(de)。然后(hou)，經過一(yi)系列的(de)常溫(wen)、低(di)溫(wen)干(gan)燥、吸附除水以及二氧(yang)化碳，壓(ya)縮(suo)至(zhi)1.2Mpa，進(jin)(jin)行低(di)溫(wen)精餾，再經過低(di)溫(wen)吸附除去氮后(hou)壓(ya)縮(suo)至(zhi)4.2Mpa，然后(hou)再進(jin)(jin)行裝瓶。

     發(fa)生法是(shi)在七(qi)十年代以前，電子工業用(yong)高純(chun)(chun)度氯(lv)化氫(qing)(qing)的(de)(de)制備(bei)一直(zhi)是(shi)將(jiang)濃(nong)硫(liu)酸(suan)(suan)滴加到(dao)濃(nong)鹽酸(suan)(suan)中，將(jiang)其中的(de)(de)水吸收(shou)掉，使得過飽(bao)和(he)的(de)(de)氯(lv)化氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)析出(chu)。到(dao)了七(qi)十年代到(dao)八(ba)十年代初期，制備(bei)方法發(fa)展到(dao)用(yong)濃(nong)硫(liu)酸(suan)(suan)與焙烘干的(de)(de)食鹽反(fan)應，生成(cheng)高純(chun)(chun)度的(de)(de)氯(lv)化氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)，再(zai)用(yong)壓縮機(ji)壓入鋼瓶中。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上較為先進，由合成爐出來的氯化氫氣體經常溫(wen)、低溫(wen)干燥和吸(xi)附凈化，在(zai)低溫(wen)、低壓(ya)下冷(leng)凝(ning)，排除不凝(ning)氣(qi)(qi)體雜質，以液態裝瓶。氯、氫(qing)(qing)合成(cheng)中，氫(qing)(qing)過量5％左右(you)，氯化氫(qing)(qing)氣(qi)(qi)體中含氫(qing)(qing)高，以間歇精餾(liu)裝置除氫(qing)(qing)。此外，原料氫(qing)(qing)是經鈀膜(mo)擴(kuo)散提純，生產規(gui)模受到一定(ding)限制(zhi)。 

     發生法以及脫析法生產規模較(jiao)大。