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現在電子工業用氣(氨氣、氯化氫、四氟化碳)已經告別進口
高(gao)純(chun)氨(an)氣(NH3)是電子工業中氮化(hua)膜(mo)的成(cheng)膜(mo)氣體。高(gao)純(chun)氨(an)氣跟硅烷、高(gao)純(chun)氬氣(Ar)用于(yu)薄膜(mo)太陽能(neng)電池的制造,也用于(yu)LED電子行業。氨(an)氣具有強(qiang)腐蝕性和(he)毒性,而且具有刺(ci)激性臭味(wei),易(yi)溶(rong)于(yu)水。
在目(mu)前,國產高純氨(an)氣已經占(zhan)到國內市場需求的一大半,相信以后會完(wan)全取代國外氣體公司滿足中(zhong)國在IC、LED、太陽能(neng)電池(chi)等領域(yu)的需求。
高純四(si)氟(fu)(fu)化(hua)碳(CF4) ,目前(qian)四(si)氟(fu)(fu)化(hua)碳主要(yao)應(ying)(ying)用(yong)于(yu)(yu)微(wei)電子(zi)工業中(zhong)的(de)(de)等離(li)子(zi)蝕刻,廣泛應(ying)(ying)用(yong)于(yu)(yu)硅(gui)、二氧化(hua)硅(gui)、氮化(hua)硅(gui)、磷硅(gui)玻璃及鎢(wu)膜材料的(de)(de)銹蝕。同時也應(ying)(ying)用(yong)于(yu)(yu)電子(zi)元件的(de)(de)清洗。四(si)氟(fu)(fu)化(hua)碳又叫(jiao)做四(si)氟(fu)(fu)甲烷,是(shi)一種鹵代烴。無色、無臭、不(bu)可燃(ran),揮發(fa)性較(jiao)高。是(shi)最穩定的(de)(de)有機(ji)化(hua)合(he)物之(zhi)一。
目前可(ke)(ke)以生產純度達99.999%的高純四氟化(hua)碳,產量基本可(ke)(ke)以滿足珠(zhu)江三角洲(zhou)地區電子工業(ye)的需求(qiu)。
高純氯化氫(HCL),主要應用于大規模集成電路單晶硅片氣相拋光,外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水(遇水是有強腐蝕性)。遇氰化物產生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經可(ke)以滿足國內市場的(de)需求。
隨著國內氣體企業對電子氣體的重視,國內氣體公司在技術方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現出了一批具有創新性和活力的氣體公司。我們淄博言赫特氣經營氯化氫氣體已經(jing)多年(nian),獲得了很多客戶的好(hao)評,也希望我們(men)可以(yi)成(cheng)為很好(hao)的合作伙(huo)伴!