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如何使過飽和的氯化氫氣體析出

返回  打印  發布時間:2015/7/25 點擊:8867

    高(gao)純(chun)氯(lv)化氫是集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路生產中硅(gui)片蝕(shi)刻(ke),鈍化和外延等(deng)工藝的(de)重要(yao)材料(liao),也可用于(yu)金屬(shu)冶煉(lian),光導通訊和科學研(yan)究等(deng)領域。隨(sui)著大規模集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路的(de)發展,對(dui)氯(lv)化氫純(chun)度的(de)要(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)高(gao),對(dui)其中雜(za)質的(de)含(han)(han)量(liang)要(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)苛刻(ke),尤(you)其要(yao)求(qiu)嚴格限(xian)制碳氫化合(he)物和碳氧(yang)化合(he)物的(de)含(han)(han)量(liang),以防止硅(gui)片加工過程(cheng)中c的(de)形成(cheng)。國內外對(dui)于(yu)制備高(gao)純(chun)氯(lv)化氫的(de)方法有很(hen)多。

    20世紀70年(nian)代(dai)以前電子工業用(yong)高(gao)純氯(lv)(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)的(de)制(zhi)備(bei)一直(zhi)是(shi)將濃硫酸滴加到濃鹽酸中,將其中的(de)水吸收掉(diao),使過(guo)飽(bao)和(he)的(de)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體析出(chu) 。20世紀8O年(nian)代(dai)以后制(zhi)備(bei)方法(fa)發展(zhan)到用(yong)濃硫酸與焙烘干的(de)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)鉀反應,生成高(gao)純氯(lv)(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體,用(yong)壓(ya)縮機壓(ya)入鋼瓶(ping)中。即曼(man)海姆法(fa)硫酸鉀聯(lian)產氯(lv)(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體日(ri)。此種方法(fa)生產的(de)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體純度(du)在99.9%(質(zhi)量分數)以上(shang)。

    為了測定(ding)在吸(xi)(xi)飽HCl-H2O件下(xia)的(de)(de)耐酸性(xing),曾(ceng)使樣品吸(xi)(xi)HCl-H2O飽和(he)后(hou),用塑料袋(dai)密(mi)封放置(zhi)多天,再生后(hou)再測其吸(xi)(xi)水(shui)性(xing)能(neng),吸(xi)(xi)水(shui)量仍未下(xia)降(jiang)。其耐酸性(xing)能(neng)良(liang)好。A型分(fen)子(zi)篩耐酸性(xing)能(neng)差,吸(xi)(xi)附性(xing)能(neng)大幅(fu)度下(xia)降(jiang)。JMT型干燥劑是一種含硅鋁(lv)比的(de)(de)絲光沸石型分(fen)子(zi)篩,具有(you)良(liang)好的(de)(de)熱穩定(ding)性(xing),除在300℃前有(you)一脫水(shui)而(er)引起明(ming)顯(xian)吸(xi)(xi)熱峰(feng)外,在900℃前無明(ming)顯(xian)的(de)(de)分(fen)解峰(feng),說(shuo)明(ming)其晶(jing)格具有(you)優良(liang)的(de)(de)穩定(ding)性(xing)。

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