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中國氯化氫技術的領導者
北京華宇(yu)同方化(hua)工科技(ji)開發有限公司(si)是(shi)(shi)1999年注冊于北京中(zhong)關村(cun)高科技(ji)園區的(de)高新科技(ji)企業,其目的(de)是(shi)(shi)推廣(guang)(guang)應用本公司(si)發明的(de)十余項國內外授權專利。目前(qian)推廣(guang)(guang)的(de)主(zhu)要新產品有,高
純氯化氫和沸(fei)石催化劑(ji);主要(yao)新技術有催化精(jing)餾技術和芳烴烷基化工藝。本(ben)公司生產的(de)沸(fei)石催化劑(ji)是種錄色環保產品,達到國(guo)(guo)際先進水平,已成功的(de)應用于國(guo)(guo)內大型石化企業(ye),具有顯(xian)著的(de)
經濟效益(yi)和社會效益(yi)。本(ben)公司生產(chan)的(de)高純氯(lv)化氫(qing)(qing)的(de)性能(neng)指標與國外同類產(chan)品相當,填補了我國電(dian)子(zi)級氯(lv)化氫(qing)(qing)產(chan)品生產(chan)的(de)空白,目前已廣泛應(ying)用于集(ji)成(cheng)電(dian)路芯片制(zhi)造業、硬質合金制(zhi)造業、醫
藥化工制造業,并批量(liang)(liang)遠銷于韓國及東南亞一(yi)帶。本公司的特點(dian)是產品質量(liang)(liang)高,價格(ge)低(di),售后服務好。
本公司具有較強(qiang)的(de)技(ji)術開發力量,現有教(jiao)授4人,高級工程師5人,其(qi)他工程技(ji)術人員10人。建有設備完(wan)善的(de)中心(xin)實驗(yan)室,高純氯化(hua)(hua)氫生產基地,沸(fei)石催化(hua)(hua)劑生產基地。分(fen)別(bie)負責技(ji)術
開發、氯化(hua)氫和催化(hua)劑的生產。根據市場需(xu)求,氯化(hua)氫設備的現有(you)生產能(neng)力為100噸/年。
5N電子級氯(lv)化(hua)氫(qing)產品的純(chun)度高達99.999%,總雜(za)質(zhi)含(han)量小于(yu)5ppm,符合企業標(biao)準Q/HDHYF001-2003。它是單晶硅片(pian)氣相拋(pao)光、基座腐(fu)蝕和硬質(zhi)合金鍍膜工藝的重(zhong)要(yao)輔助材料。尤其其中水
及有機物的(de)含量對單晶硅片(pian)的(de)精(jing)密加工和芯片(pian)的(de)壽命具有極大(da)影(ying)響。本公司生產(chan)的(de)5N電(dian)子級氯化氫產(chan)品的(de)露點小(xiao)于-80℃,水(shui)含量小(xiao)于0.5ppm。有機物為輕烴類(lei),THC<0.5ppm,且不含一氧
化碳、二氧(yang)化碳等(deng)有(you)害雜質。就此(ci)而言,本公司(si)的(de)產(chan)品遠(yuan)優于國外(wai)同類產(chan)品的(de)性能,尤其優于國內分裝產(chan)品。
本公司生產(chan)電子級(ji)氯化(hua)氫所采用(yong)的(de)原料為(wei)石化(hua)產(chan)品(pin)的(de)副(fu)產(chan)品(pin),其特(te)點是水含量很低,便于提純加(jia)工,對(dui)所需(xu)設(she)備的(de)材質(zhi)要(yao)求不(bu)高(gao)。但其中含有難(nan)以(yi)脫除的(de)乙炔氣,這就需(xu)要(yao)特(te)種性能
的(de)(de)催化劑(ji)。本(ben)公司在(zai)催化劑(ji)及催化技術開發(fa)方面具(ju)有獨特的(de)(de)技術。經(jing)5年的(de)(de)努力,開發(fa)出適用的(de)(de)催化劑(ji),它可使氯(lv)化氫(qing)中1000ppm的(de)(de)乙炔經(jing)反應下(xia)降至0.1ppm以下(xia)。從而保證了(le)氯(lv)化氫(qing)中的(de)(de)THC
<0.4ppm。另外,本(ben)公司(si)氯(lv)化氫(qing)的生產工藝采用(yong)了(le)(le)高效(xiao)填料及特殊結構的精餾塔,并采用(yong)了(le)(le)具有特色的鋼瓶處理方法,保證(zheng)了(le)(le)瓶裝產品(pin)的水含量(liang)小于(yu)0.5ppm。使得本(ben)公司(si)產品(pin)的質(zhi)量(liang)大(da)大(da)優(you)
于國外同類產(chan)品的質量。同時(shi),本公司獲得了"一種制備電子級氯化(hua)氫的方法"的授權(quan)專利,具(ju)有自主知識產(chan)權(quan)。瓶裝產(chan)品經國家標準物質研(yan)究中心和信息(xi)產(chan)業部專用(yong)材料(liao)質量監督(du)檢測(ce)中心
抽樣檢驗,純度大于99.999%,雜質總含量小(xiao)于5ppm。2003年(nian)10月通過北京(jing)市科委科技(ji)成果技(ji)術鑒定。會議認為,本工藝采用特效催化反應、高效精餾和特種裝置設備等(deng)技(ji)術研(yan)制出電子級氯(lv)
化氫產(chan)品。技(ji)術(shu)路線科學、合理、先進,工藝參(can)數穩定;原料(liao)來源(yuan)充足,供(gong)應可靠(kao),生產(chan)線裝置(zhi)運行連續穩定,符合環保要求(qiu);產(chan)品主要技(ji)術(shu)指標具有可靠(kao)的(de)檢測手段(duan);產(chan)品主要性能(neng)指標
與(yu)國(guo)外(wai)同類產品(pin)相(xiang)當,填補了(le)我國(guo)電(dian)(dian)子級(ji)氯化氫產品(pin)生產的(de)空白,實現(xian)了(le)電(dian)(dian)子級(ji)氯化氫產品(pin)的(de)國(guo)產化。這對我國(guo)新(xin)興電(dian)(dian)子產業制(zhi)造業及(ji)其相(xiang)關行(xing)業的(de)發展(zhan)具有較大的(de)社(she)會意(yi)義和經濟(ji)意(yi)義。
兩年多來,經(jing)國內(nei)外多家用(yong)戶在單晶(jing)硅片氣相(xiang)拋光(guang)、基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用(yong)證(zheng)明,本公司產(chan)品(pin)的(de)技術性能及(ji)其(qi)產(chan)品(pin)的(de)規格性能均(jun)與國外產(chan)品(pin)相(xiang)當。
近幾年,本(ben)公司在(zai)降低水(shui)含(han)量(liang)方面采取了一系(xi)列措施。經分(fen)析發現(xian),精餾塔采出產(chan)品(pin)的(de)水(shui)含(han)量(liang)小(xiao)于0.3ppm,但罐裝于鋼瓶內的(de)產(chan)品(pin)水(shui)含(han)量(liang)則(ze)可達0.7ppm,甚至更高。究其原因(yin)在(zai)于產(chan)
品罐裝過程中鋼瓶(ping)更換(huan)以及鋼瓶(ping)處理時引入(ru)的空氣水。這種水附著在(zai)管壁上,難以用抽空的方法徹底排除。為此(ci),首(shou)先采用了本公司發明的專(zhuan)利(li)截(jie)止閥,保證更換(huan)鋼瓶(ping)時匯流排及其(qi)連接軟
管不與大氣(qi)相通(tong);其次在鋼(gang)瓶(ping)選用、瓶(ping)閥(fa)結構(gou)及(ji)鋼(gang)瓶(ping)處理上采取了嚴(yan)格而特殊的(de)措施,盡可能降低鋼(gang)瓶(ping)殘留水的(de)影響,保證了瓶(ping)裝產品的(de)水含量小于0.5ppm。
目(mu)前(qian),國內(nei)應(ying)用(yong)的(de)5N電(dian)子級氯化氫產品(pin)主要由(you)美國道化學(xue)公(gong)司提(ti)供(gong),經(jing)由(you)國內(nei)外幾(ji)家氣體經(jing)銷(xiao)商分裝后供(gong)應(ying)市場,主要性(xing)能指標如下:
純度:99.999%;
雜質含量:N2≤2.0ppm,O2≤1.0ppm,H2O≤1.0ppm,CO≤1.0ppm,
CO2≤2.0ppm,THC≤1.0ppm。
目前(qian),本(ben)公司(si)批量供應市場的氯(lv)化氫產品有如下(xia)四種:
(1) 5.0 N,純度>99.999%; (2) 4.8 N,純度>99.998%;
(3) 3.0 N,純度(du)>99.9%; (4) 2.8N,純度(du)>99.8%。
本公司氯(lv)化氫(qing)產品采用(yong)氯(lv)化氫(qing)專用(yong)鋼瓶(符合國標(biao)GB5099或(huo)DOT 3AA標(biao)準)包裝,有25kg、27kg兩種(zhong)規格,應用(yong)316L不銹鋼抗腐蝕隔膜(mo)式(shi)瓶閥,CGA330標(biao)準接口。
本公司尚可為客戶提供各種型(xing)號規(gui)格的氯化(hua)氫專用減(jian)壓器、調節閥、截(jie)止閥以(yi)及(ji)成套氯化(hua)氫供氣裝(zhuang)置。
2001年全公司(si)各產品通過(guo)ISO9001:2000質(zhi)(zhi)量(liang)管理體系認證(zheng),保證(zheng)了(le)產品質(zhi)(zhi)量(liang)的連續(xu)穩定和(he)持續(xu)改進。
本公司秉承(cheng)"誠(cheng)信為本、顧(gu)客(ke)至上"的經(jing)營(ying)(ying)(ying)理(li)念,堅(jian)持"科(ke)學經(jing)營(ying)(ying)(ying)、安全經(jing)營(ying)(ying)(ying)、合法經(jing)營(ying)(ying)(ying)"的經(jing)營(ying)(ying)(ying)方針,以科(ke)技(ji)領先和強(qiang)化管(guan)理(li)為手段,鍛造技(ji)術一(yi)(yi)流、人才一(yi)(yi)流、質量一(yi)(yi)流、服務一(yi)(yi)流
的科技開發公司。