淄博(bo)言赫特氣有限公司現(xian)有年產2000噸高(gao)純氯(lv)(lv)化氫生產線，連續(xu)批(pi)量生產應(ying)用于單(dan)晶硅外(wai)延片制造(zao)的5N(99.999%)電子(zi)級(ji)(VLSI)氯(lv)(lv)化氫。

    電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)廣泛應用于半導體(ti)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)和(he)關聯的(de)(de)(de)太陽能(neng)電(dian)(dian)池等(deng)高(gao)科技(ji)(ji)(ji)產業，或用于薄膜(mo)堆積、刻蝕(shi)、摻雜、鈍化(hua)(hua)、清洗，或用作載氣(qi)(qi)(qi)、維護氣(qi)(qi)(qi)氛等(deng)等(deng)。因為半導體(ti)和(he)微電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)(ji)能(neng)向更高(gao)功能(neng)、更高(gao)集成(cheng)度(du)開展(zhan)，對(dui)(dui)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)的(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)提(ti)出了越來越高(gao)的(de)(de)(de)需(xu)(xu)求(qiu)(qiu)，電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)特(te)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)凈化(hua)(hua)更加要(yao)(yao)害和(he)重(zhong)要(yao)(yao)。目前國(guo)內的(de)(de)(de)超(chao)高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)凈化(hua)(hua)技(ji)(ji)(ji)能(neng)首要(yao)(yao)依(yi)靠進口，本(ben)(ben)身(shen)的(de)(de)(de)技(ji)(ji)(ji)能(neng)水準(zhun)（6N）與(yu)國(guo)際先進水平(8-9N)有較大距離。本(ben)(ben)項目將描繪(hui)和(he)研制一(yi)系(xi)(xi)列(lie)高(gao)效、高(gao)容量、高(gao)選(xuan)擇性(xing)、低(di)成(cheng)本(ben)(ben)的(de)(de)(de)新(xin)式(shi)納米(mi)凈化(hua)(hua)劑，對(dui)(dui)MO源、惰性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、氫(qing)(qing)化(hua)(hua)物(wu)(wu)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、反響性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)等(deng)5個系(xi)(xi)列(lie)，50多種電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特(te)氣(qi)(qi)(qi)進行結尾凈化(hua)(hua)，使電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)純(chun)(chun)(chun)度(du)由ppm級(ji)進步(bu)到ppb、ppt級(ji)，并(bing)將特(te)氣(qi)(qi)(qi)傳輸和(he)控制系(xi)(xi)統對(dui)(dui)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)純(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)影響降(jiang)至最(zui)小，然后極大地改進工藝才能(neng)，下降(jiang)產物(wu)(wu)缺點， 進步(bu)制程的(de)(de)(de)產值，滿(man)意(yi)下一(yi)代半導體(ti)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)以(yi)及關聯高(gao)技(ji)(ji)(ji)能(neng)開展(zhan)的(de)(de)(de)需(xu)(xu)求(qiu)(qiu)。本(ben)(ben)項目將構成(cheng)有自主(zhu)知識產權的(de)(de)(de)超(chao)高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)凈化(hua)(hua)技(ji)(ji)(ji)能(neng)，處理超(chao)高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)凈化(hua)(hua)這一(yi)核心(xin)技(ji)(ji)(ji)能(neng)的(de)(de)(de)國(guo)產化(hua)(hua)問題(ti)。

    我公司所主營的鋼瓶裝電子級氯化氫產品分別經(jing)國家標(biao)(biao)準物(wu)質研究中心和信息產業(ye)部專用材(cai)料(liao)質量監督檢驗中心抽樣(yang)檢驗，純度大(da)于99.999%，總雜(za)質含量小于5ppm，符(fu)合(he)國家標(biao)(biao)準GB/T24469-2009。